课程介绍
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集成电路工艺原理 - 课程介绍
开课部门: 电子与信息工程学院
课程名称: 集成电路工艺原理
课程英文名称: Theories of IC Proccessing
总课时: 32
学分: 2
内容简介: 本课程主要介绍集成电路产业的发展简史,同时对集成电路行业内的术语进行介绍和简单讲解,并对集成电路的设计方法、制造原理及流程进行介绍。使学生初步具备从事集成电路行业的基础知识,为后继的集成电路设计方面的相关学习打好基础。
授课对象: 电子科学与技术专业本科生
先修课程: 半导体物理,半导体器件物理
教材和参考书: 教  材:杨之廉,集成电路导论,北京:清华大学出版社
参考书:谢金明  微电子制造科学原理和工程技术  北京:电子工业出版社  2003
        王阳元  集成电路工艺基础 北京:高等教育出版社  1991

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